臭氧由三個氧原子組成，是氧的同素異形體。其分子式為O3，分子量為48。在常溫常壓下，O3是一種淡藍色氣體，有特殊的腥味。當濃度適中時，有一種“清新”的氣味。在常溫下，臭氧不穩(wěn)定，會自行分解成O2和單原子O。兩個單原子O可以結合成O2。單原子氧非?；顫?，具有很強的氧化性。它的氧化能力是氯的兩倍，反應快，滅菌速度比氯快600-3000倍，幾秒鐘內就能殺死細菌和病毒。

臭氧發(fā)生器的滅菌效果很強，能夠快速、強力地殺滅水、空氣和附著表面的各種細菌、病原微生物、病毒、真菌和原生動物。臭氧處理具有反應速度快、效率高、無殘留、無二次污染的優(yōu)點。

臭氧滅菌主要依靠分解后或溶于水中產生的單原子氧(O)和羥基(OH)的強氧化能力。臭氧首先與細胞壁和細胞膜的脂質雙鍵發(fā)生反應，然后通過細胞壁和細胞膜進入細胞，它作用于外被脂蛋白和內脂多糖漿，改變內膜的通透性，導致內膜漏出，終導致細胞裂解死亡。

臭氧是一種強氧化劑，屬于消毒中的過氧化物消毒劑，具有廣譜、效率高的滅菌效果，對空氣微生物有強大的殺滅作用，低于容許濃度(0.2mg/m)的臭氧，即對于一般細菌繁殖體，臭氧發(fā)生器的滅菌效果非常明顯，特別是在病房當中。采用30mg/m 濃度的臭氧，作用15分鐘，對自然菌的殺滅率達到92% 以上，對氣溶膠中的金黃色葡萄球菌，用0.12mg/m的臭氧作用30分種，殺滅率可達99.9%以上；對氣溶膠中的枯草桿菌黑色變種芽胞，用5.67mg/m的臭氧作用60分種，殺滅率可達到99%以上。臭氧對付細菌的方法，是將細菌的細胞體直接氧化，即破壞其DNA的基因而達到抑制的效果。