循環(huán)消毒處理臭氧發(fā)生器能產(chǎn)生臭氧。大氣中的氧氣含量在20%左右。利用空氣產(chǎn)生臭氧就會有效果，而且會通過環(huán)境空氣中的氧氣產(chǎn)生臭氧。氧氣濃度越高，會產(chǎn)生越多的臭氧。很多臭氧發(fā)生器都會安裝一臺制氧機(jī)，以增加進(jìn)料氣中氧的含量，增加臭氧的總量。采用空氣或氧氣進(jìn)口氣體，關(guān)鍵在于空氣必須*清潔和干燥，以消除臭氧產(chǎn)生危險副產(chǎn)物的可能性。由于電暈放電在臭氧發(fā)生器中的細(xì)微差別，它們被稱為多種物質(zhì)。人們創(chuàng)造了像“冷等離子體”、“等離子發(fā)生器”、“冷電暈”這樣的名字。這些是基本的電暈放電型臭氧發(fā)生器的變種。

當(dāng)臭氧水從水箱中抽出并泵入分配回路時，在抽完之后，臭氧會破壞臭氧，從而使臭氧消失。當(dāng)流速相同時，該紫外光波長為254nm，比無菌紫外光高3-4倍。在臭氧被紫外線破壞后，水通過臭氧傳感器，確認(rèn)臭氧沒有殘留。高純水隨后通過分配循環(huán)分配給用戶。這種傳感器通常使用高臭氧報(bào)警器來警告操作者紫外線輻射是否正常。

為控制環(huán)路中微生物生長，應(yīng)定期使用循環(huán)消毒處理臭氧發(fā)生器消毒環(huán)路。通過關(guān)閉破壞臭氧層的紫外線和使水箱內(nèi)臭氧水循環(huán)回路達(dá)到預(yù)定時間(一般為30分鐘至一小時)，就可以實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。在循環(huán)消毒過程中，為了確保殺滅微生物，容器內(nèi)臭氧的濃度也可以提高到很高的水平(0.3-0.5ppm)。為檢驗(yàn)消毒效果，回路返回時使用了另一種臭氧傳感器。如果傳感器顯示出穩(wěn)定的讀數(shù)，就意味著不再消耗臭氧層，可以開始消毒。為使消毒效果達(dá)到較好，每個用戶點(diǎn)都應(yīng)在消毒過程中短暫開啟，使有臭味的水流對閥門下游的那些區(qū)域進(jìn)行沖洗和消毒。